电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
由于支持MATLAB和NI LabVIEW以及所有常规操作系统（Windows、Linux和macOS），集成可在几乎任意环境中快速有效的实现。复杂的编程示例和PIMikroMove等软件工具可大大缩短生产作业的准备时间。
PD72Z1SAA*
PD72Z1SAQ**
PD72Z1SA0***
PD72Z1CAA*
PD72Z1CAQ**
PD72Z1CA0***
单位
公差
主动轴
Z
运动和定位
集成传感器
应变片传感器
电容式
行程，闭环
100
微米
分辨率，闭环
5
1
纳米
典型值
线性误差，闭环
0.2
0.06
%
重复精度
±10
±5
倾斜θX、θY
13
微弧度
X、Y向上的串扰
稳定时间（0.5微米步长、5 %精度、150克）
10
毫秒
机械特性
运动方向上的刚性
0.3
牛/微米
±20 %
谐振频率，空载
580
赫兹
带120克负载时的谐振频率
235
带200克负载时的谐振频率
180
运动方向上的推/拉力
100 / 20
牛
最大
驱动特性
压电陶瓷
PICMA P-885
其他
工作温度范围
10至50
摄氏度
材料
铝
质量
0.22
0.24
千克
±5 %
电缆长度
米
+50毫米/-0毫米
压电式控制器
E-709（含在发货范围内）
通信接口
USB、RS-232、SPI
输入/输出连接器
HD D-sub 26
1个模拟量输入0至10伏
1个传感器监控器0至10伏
1个数字输入（LVTTL、可编程）
1个模拟输出
5个数字输出（LVTTL、3个为预定义、2个为可编程）
指令集
PI General Command Set (GCS)
用户软件
PIMikroMove
软件驱动器
NI LabVIEW驱动器，用于Windows的共享资料库和Linux
支持功能
波形发生器、数据记录器、自动调零、触发I/O，MATLAB，µManager，MetaMorph
控制器尺寸
160毫米× 96毫米× 33毫米
PIFOC Portfolio
Digital Piezo Controllers E-709.xxG / E-727 / E-754
P-721快速PIFOC®压电陶瓷纳米级Z驱动器
P-721 Thread Adapters for P-721 / P-725.xxx PIFOC Objective Scanners
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电容传感器是最苛刻纳米级定位应用的首选计量系统。
