P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台

大口径低外形XY纳米定位系统

低外形、易于集成：16.5毫米
孔径为80 毫米 × 80 毫米
行程达200 微米 × 200 微米
并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
高动态直接驱动版本
传感器技术：价格实惠的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
可与显微镜平台组合实现更长行程

P-541.2 • P-542.2, dimensions in mm

The P-541.2DD has a settling time of only 3 ms for a 50-µm step.

P-541.2 • P-542.2, dimensions in mm

P-541.2 • P-542.2，尺寸单位为毫米

P-541.2DD步进50微米的稳定时间仅为3毫秒。

扫描显微镜
高吞吐量显微镜
超分辨率显微镜
掩模/晶圆定位
干涉测量
测量技术
生物技术
显微操纵

专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

运动直接在运动平台上测量，完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。

在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计，可实现快速、动态且精密的运动。

转至规格

该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。

	P-541.2CD /P-541.2CL	P-542.2CD /P-542.2CL	P-541.2DD	P-541.2SL	P-542.2SL	P-541.20L/P-542.20L	单位	公差
主动轴	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y	X, Y
运动和定位
集成传感器	电容式	电容式	电容式	应变片传感器	应变片传感器	–
-20至+120 伏时的开环行程	150 微米×150 微米	250 微米×250 微米	60 微米×60 微米	150 微米×150 微米	250 微米×250 微米	见P-541.2CD / P-542.2CD		+20 % / -0 %
行程，闭环	100 微米×100 微米	200 微米×200 微米	45 微米×45 微米	100 微米×100 微米	200 微米×200 微米	–
分辨率，开环/闭环	0.2 / 0.3	0.4 / 0.7	0.1 / 0.3	0.2 / 2.5	0.4 / 4	开环为0.2 / 0.4	纳米	典型值
线性误差	0.03	0.03	0.03*	0.2	0.2	–	%	典型值
重复精度	<5	<5	<5	<10	<10	–	纳米	典型值
螺距	<5	<5	<3	<5	<5	<5	微弧度	典型值
偏转角	<10	<10	<3	<10	<10	<10	微弧度	典型值
机械特性
运动方向上的刚性	0.47	0.4	10	0.47	0.4	0.47 / 0.4	牛/微米	±20 %
谐振频率，空载	255	230	1550	255	230	255 / 230	赫兹	±20 %
带100 克负载时的谐振频率	200	190	–	200	190	200 / 190	赫兹	±20 %
带200 克负载时的谐振频率	180	–	1230	180	–	180 / –	赫兹	±20 %
带300 克负载时的谐振频率	150	145	–	150	145	150 / 145	赫兹	±20 %
运动方向上的推/拉力	100 / 30	100 / 30	100 / 30	100 / 30	100 / 30	100 / 30	牛	最大
负载容量	20	20	20	20	20	20	牛	最大
驱动特性
压电陶瓷	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885	PICMAP-885
每轴的电容	4.2	7.5	9	4.2	7.5	4.2 / 7.5	微法	±20 %
其他
工作温度范围	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	-20 到 80	°C
材料	铝	铝	铝	铝	铝	铝
质量	0.75	0.75	0.75	0.73	0.73	0.7	千克	±5 %
电缆长度	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	米	±10 毫米
传感器/电压连接	CD版本：Sub-D 25W3（公头） CL版本：LEMO	CD版本：Sub-D 25W3（公头） CL版本：LEMO	Sub-D25W3（公头）	LEMO	LEMO	LEMO（无传感器）
推荐电控	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727	E-503、E-505、E-621、E-712、E-727