P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台
大口径低外形XY纳米定位系统
- 低外形、易于集成:16.5毫米
- 孔径为80 毫米 × 80 毫米
- 行程达200 微米 × 200 微米
- 并联运动实现更快的响应时间和更高的多轴精度
- 高动态直接驱动版本
- 传感器技术:价格实惠的应变片传感器或可实现更高性能的电容式传感器
- PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
- 可与显微镜平台组合实现更长行程
应用领域
- 扫描显微镜
- 高吞吐量显微镜
- 超分辨率显微镜
- 掩模/晶圆定位
- 干涉测量
- 测量技术
- 生物技术
- 显微操纵
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来最大精度
运动直接在运动平台上测量,完全不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现最佳的重复精度、优异的稳定性和刚性、快速响应控制。
并联运动实现高动态多轴操作
在并联多轴系统中,所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴均具有超小的质量惯性并采用相同的设计,可实现快速、动态且精密的运动。
规格
该内容仅在平板电脑或桌面型设备上可见。规格
P-541.2CD /P-541.2CL | P-542.2CD /P-542.2CL | P-541.2DD | P-541.2SL | P-542.2SL | P-541.20L/P-542.20L | 单位 | 公差 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
主动轴 | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y | X, Y |
|
|
运动和定位 |
|
|
|
|
|
|
|
|
集成传感器 | 电容式 | 电容式 | 电容式 | 应变片传感器 | 应变片传感器 | – |
|
|
-20至+120 伏时的开环行程 | 150 微米×150 微米 | 250 微米×250 微米 | 60 微米×60 微米 | 150 微米×150 微米 | 250 微米×250 微米 | 见P-541.2CD / P-542.2CD | +20 % / -0 % | |
行程,闭环 | 100 微米×100 微米 | 200 微米×200 微米 | 45 微米×45 微米 | 100 微米×100 微米 | 200 微米×200 微米 | – |
| |
分辨率,开环/闭环 | 0.2 / 0.3 | 0.4 / 0.7 | 0.1 / 0.3 | 0.2 / 2.5 | 0.4 / 4 | 开环为0.2 / 0.4 | 纳米 | 典型值 |
线性误差 | 0.03 | 0.03 | 0.03* | 0.2 | 0.2 | – | % | 典型值 |
重复精度 | <5 | <5 | <5 | <10 | <10 | – | 纳米 | 典型值 |
螺距 | <5 | <5 | <3 | <5 | <5 | <5 | 微弧度 | 典型值 |
偏转角 | <10 | <10 | <3 | <10 | <10 | <10 | 微弧度 | 典型值 |
机械特性 |
|
|
|
|
|
|
|
|
运动方向上的刚性 | 0.47 | 0.4 | 10 | 0.47 | 0.4 | 0.47 / 0.4 | 牛/微米 | ±20 % |
谐振频率,空载 | 255 | 230 | 1550 | 255 | 230 | 255 / 230 | 赫兹 | ±20 % |
带100 克负载时的谐振频率 | 200 | 190 | – | 200 | 190 | 200 / 190 | 赫兹 | ±20 % |
带200 克负载时的谐振频率 | 180 | – | 1230 | 180 | – | 180 / – | 赫兹 | ±20 % |
带300 克负载时的谐振频率 | 150 | 145 | – | 150 | 145 | 150 / 145 | 赫兹 | ±20 % |
运动方向上的推/拉力 | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | 100 / 30 | 牛 | 最大 |
负载容量 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 牛 | 最大 |
驱动特性 |
|
|
|
|
|
|
|
|
压电陶瓷 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 | PICMAP-885 |
|
|
每轴的电容 | 4.2 | 7.5 | 9 | 4.2 | 7.5 | 4.2 / 7.5 | 微法 | ±20 % |
其他 |
|
|
|
|
|
|
|
|
工作温度范围 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | -20 到 80 | °C |
|
材料 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 | 铝 |
|
|
质量 | 0.75 | 0.75 | 0.75 | 0.73 | 0.73 | 0.7 | 千克 | ±5 % |
电缆长度 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 1.5 | 米 | ±10 毫米 |
传感器/电压连接 | CD版本:Sub-D 25W3(公头) CL版本:LEMO | CD版本:Sub-D 25W3(公头) CL版本:LEMO | Sub-D25W3(公头) | LEMO | LEMO | LEMO(无传感器) | ||
推荐电控 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 | E-503、E-505、E-621、E-712、E-727 |
下载
产品注解
Product Change Notification Piezo Actuator Driven Products
文件
3D模型
P-541.2 3-D模型
P-542.2 3-D模型
报价/订购
所需数量、价格和供货周期请求免费报价或描述您所需的改型。所有线上有货的产品均可直接订购。