带有真空就绪项目的产品系列

PI为选定的产品系列提供了已适用于高真空(HV)或超高真空(UHV)的特定目录项。

此外,为应用于真空中,大多数PI轴和多轴解决方案都可以根据要求进行改进。您可以在>> 真空技术页面上找到有关PI真空设计的更多信息。

六足位移台

H-811.I2V Vacuum-Compatible 6-Axis Miniature Hexapod

Fast, Compact, and Highly Precise
  • Travel ranges X/Y/Z [mm]: ±17/±16/±6.5
  • Max. load horiz./any [kg]: 5/2.5
  • Max. velocity [mm/s]: 10
  • Min. incr. motion X/Y/Z [µm]: 0.2/0.2/0.08
  • Vacuum compatible [hPa]: 10-6
PI P-911KNMV

P-911K 超高真空兼容型小型压电六足位移台

即使在强磁场下也能精确定位

线性、旋转、升降平台和配件

RS-40 V7 Compact Rotation Stage Suitable for Vacuum

M-110 • M-111 • M-112 V6 Vacuum-Compatible Compact Linear Stage

带直流齿轮电机和各种行程变型的XY(Z)组合

L-611 V6 • V7 • V9 Precision Rotation Stage Suitable for Vacuum

L-509 V6 • V7 • V9 Precision Linear Stage Suitable for Vacuum

紧凑型设计,可负载达10公斤
Adapter Bracket

AB-65 转接支架

用于线性和旋转平台的垂直安装
PI L-500

L-500 转接支架

用于线性和旋转平台的垂直安装
VFxx Vacuum Feedthroughs

C-815.VFxx Vacuum Feedthroughs

空气侧与高真空(HV)或超高真空(UHV)之间的接口

L-220 V6 High-Resolution Linear Actuator Suitable for Vacuum

适用于高循环次数

压电陶瓷促动器和平台

Preloaded Piezo Actuators

P-841 预载压电陶瓷促动器

用于高负载和高力的紧凑型促动器,带位置传感器

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XYZ扫描仪

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

具有孔径的高精度XY扫描仪

P-216 PICA Power压电陶瓷促动器

带传感器选项的预载压电陶瓷促动器(HVPZT)

P-212 PICA Power压电陶瓷促动器

带传感器选项的预载压电陶瓷促动器(HVPZT)

P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密Z向定位器

多种行程范围和轴配置

P-845 预载压电陶瓷促动器

用于高负载和高力,带位置传感器

P-844 预载压电陶瓷促动器

用于高负载和高力

P-843 预载压电陶瓷促动器

用于高负载和高力,带位置传感器

P-842 预载压电陶瓷促动器

用于高负载和高力

P-840 预载压电陶瓷促动器

用于高负载和高力的紧凑型促动器

P-753 LISA线性促动器和平台

位置动态稳定

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

用于多达3轴的高精度纳米定位系统

P-518 • P-528 • P-558 压电陶瓷Z向/偏摆平台

高动态,带大通光孔径

P-363 PicoCubeXY(Z)压电扫描仪

用于扫描探针显微镜的高动态纳米定位系统

P-235 PICA Power压电陶瓷促动器

带传感器选项的预载高负载压电陶瓷促动器(HVPZT)

P-225 PICA Power压电陶瓷促动器

带传感器选项的预载高负载压电陶瓷促动器(HVPZT)

N-480 PiezoMike小型线性促动器

带运动反射镜底座

N-470.V • N-470.U PiezoMike线性促动器

最小尺寸,较大的力,稳定定位,真空达10-9百帕

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

行程可变的高精度XY向纳米定位器

P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器

多种行程范围和轴配置

传感器

Capacitive Sensors

D-015 • D-050 • D-100 电容传感器

亚纳米分辨率位置传感器